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六槽式無塵烘箱

  • 產品編號:123121324516
  • 產品類別:高溫烘箱|烤箱 >> 100級無塵烘箱
  • 產品型號:TM100-6
  • 產品備注:
  • IC/LCD制程設備 無塵烘箱

詳細描述

產品特點:
◆ 無塵烘箱內、中桶材質采用SUS304#無磁性鏡面不銹鋼,外膛采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE)
◆ 全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產生器,防機臺本身產生PARTICLE
◆ 耐高溫,能有效過濾微塵而達到潔凈等級class100#。
◆ 無塵烘箱(六槽)采用疊層組合式,減少場地占用面積,效率高。
適用范圍:
 無塵烘箱應用于:LCD、CMOS、IC制程烘烤
技術參數:
 型   號  
TM80
 TM100
TM150
內部容積
 80L
 100L
 125L
內部尺寸
50×40×40
50×45×45
50×50×50
 無塵烘箱的內尺寸表示為:W×H×D   寬×高×深  單位:cm
功率(KW)
3.0
3.5
4.0
系  統
 PID智能調節或可編程PID自動調節
溫度范圍
 RT+10℃~200℃
溫度偏差
 ±1.0℃
波 動 度
 ±0.5℃
潔 凈 度
 100級
內體材料
 SU304不銹鋼板
外箱材料
 SU304不銹鋼板或防銹處理冷軋鋼板(噴塑)
保溫材料
 超細玻璃棉
加 熱 器
 鎳鉻合金電熱式加熱器
循環系統
 軸流風機
控制系統
 高精度微電腦型LED顯示溫度控制器或LCD顯示溫度控制器
標準配置
 樣品架2層、電源線1條
可選配置
 測試孔(¢25m位于門上)、增加的樣品架

深圳市富易達儀器有限公司 官方網站

 

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