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無塵烤箱TM330-單槽

  • 產品編號:
  • 產品類別:高溫烘箱|烤箱 >> 100級無塵烘箱
  • 產品型號:TM330-單槽
  • 產品備注:
  • 100級無塵烘箱|無塵烤箱|應用于:LCD、CMOS、IC制程烘烤

詳細描述

序號

內容

規格

1

電源

AC380V  3∮ 50Hz、三相五線、配制總功率6.5KW

2

技術參數

 

 

內 尺 寸

外 尺 寸

溫度均勻度

潔 凈 度

W 600mm × D500mm × H1100mm;

W 800mm × D 1150mm × H 1900mm;

100℃±2℃以內、200℃±3℃以內(空爐測試);

Glass 100級;

3

溫度范圍

RT+30~Max200℃,常溫到200℃約需時間60min(空爐測試)  

4

機臺結構

采用單門設計,控制箱位于機臺上方

 

內部材料

采用SUS304#1.2mm厚鏡面不銹鋼板,經堿性蘇打水清潔,去掉油污避免烘烤時產生灰塵;

 

外部材料

采用SUS201#1.0mm厚拉絲不銹鋼板;

 

層架材料

2層,不銹鋼材料,采用SUS304#不銹鋼

 

保溫材料

采用國產優質超細玻璃棉,100K級高密度高保溫板填充

 

高效過濾器

采用R14等級的耐溫250℃的高效過濾器

5

溫度控制器

采用日本“島電”溫度控制器(程序功能,4組程序共40段程式段)

數字顯示及設定溫度,PID自動演算,溫度解析度為0.1℃;

配置RS485數據通訊口

 

 

控溫方式

傳感器:采用日制進口感溫芯片(UST品牌),不銹鋼外套;

輸出被控制元件:SSR固態繼電器輸出;

6

循環風機

不銹鋼離心風機,120W×2;

7

電加熱器

采用定制專用不銹鋼加熱器

8

氣口

(1)使用N2 or Clean air,∮8mm氣管;用于置換無塵烤箱內的空氣或者人工降溫(非自然降溫);

(2)自然進氣口,∮51mm,在程序結束(恒溫結束)自然降溫階段,與排氣閥同步開啟,同時支持自動開啟模式和手動開啟模式,默認自動開啟模式。

(3)排氣口:∮51mm,在程序結束(恒溫結束)排氣降溫階段,與新風口同步開啟,90分鐘內溫度從80℃降溫到50℃。

9

安全裝置

漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、超溫保護裝置、馬達過流保護、蜂鳴器、開門信號開關;

10

選配功能

  1. 溫度儀表提供程式功能;( 儀表計時功能——時間為倒計時,程序功能——4組程序共40段程式段)
  2. 電磁鎖鎖門功能:設備停止運行或恒溫結束,新增計時器開始計時(正計時),計時結束(計時的目的:停加熱開啟排風降溫到50℃)才自動解鎖,解鎖的同時報警提示。在運行中不能解鎖;
  3. 自動排氣功能:排氣閥門在運行中自動關閉排氣閥門在結束時自動打開
  4. 主控制儀表報警:溫度控制儀表提供上、下限溫差報警功能,只報警不能停加熱。
  5. 控制面板除電源和運行按鈕外,其它操作按鈕、控制器等需加防護蓋。
  6. 三色警示燈:運行——綠色,故障——紅色,結束——黃色;

 

設備輸出端子

7)設備后方有電源接線端子排,帶有防護蓋,方便用戶快速安裝使用。

8)溫度變送輸出端子:DC0-10V

9)有3色燈狀態、開關門狀態無源接點信號輸出,滿足遠程監控需要;

10)在外部有門解鎖信號,在外部有開關排氣閥信號,滿足遠程監控需要。

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